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规格
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测量面对基面的垂直度
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测量面平面度或直线度
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基面平面度或直线度
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精度等级（um）
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1级
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2级
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3级
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1级
|
2级
|
3级
|
1级
|
2级
|
3级
|
|
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200*200
|
8
|
16
|
30
|
4
|
8
|
16
|
6
|
12
|
24
|
|
300*200
|
10
|
20
|
40
|
5
|
10
|
20
|
8
|
16
|
30
|
|
300*300
|
10
|
20
|
40
|
5
|
10
|
20
|
8
|
16
|
30
|
|
400*300
|
12
|
24
|
45
|
6
|
12
|
24
|
10
|
20
|
40
|
|
500*500
|
|
28
|
50
|
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14
|
28
|
|
24
|
48
|
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800*600
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35
|
60
|
|
18
|
35
|
|
28
|
55
|
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1000*750
|
|
|
80
|
|
|
50
|
|
|
80
|
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1500*1000
|
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120
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|
|
60
|
|
|
120
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