大理石气浮导轨对材料的要求
大理石气浮导轨的制作采用了是空气静压,轴承技术,因此它具有轴/径向跳动小、重复定位精度高、加载驱动力小、能在高转速下平稳工作等 性.为了保证气浮导轨具备这些性能,在选用制作材料时要求它具有以下 征:
1.导热性要好,随时间及空间改变,温度随之改变进而造成构件内部的温度梯度,引起机器结构的扭转和弯曲;
2.热膨胀系数要小,避免在温度-变化下产生过大的伸长缩短;
3.要具有比较大的弹性,避免花岗石气浮导轨在受力后出现较大的变形;
4.要有着较高的硬度,保证在加工及使用中都不会轻易划伤、磨损;
5.具有较高的强度,在力量范围内不易断裂;
6.对于运动部分的材料,在密度上要小,保证由于测量机的高速、高加速运动而产生的测量机惯性力不会造成损伤;
7.考虑材料吸水率小,以免受潮变形(质量差的花岗石,由于吸水,足以引起微米级的变形);
8.工艺性好,易于加工,成本要低.
作为超精密测量、超精密加工和半导体光刻等领域的重要应用,花岗石气浮导轨的材料具备上述性能才能在使用中正常发挥作用.
大理石气浮导轨的使用要求
当运动件沿着承导件作直线运动时,承导件上的花岗石气浮导轨起支承和导向的作用.为了保证花岗石导轨作用的实现,在设计的时候要完成这些相应的要求:
1.导向精度.导向精度是指运动件沿花岗石气浮导轨移动的直线性,以及它与有关基面间的相互位置的准确性.
2.运动轻便平稳.工作时,应轻便省力,速度均匀,低速时应无爬行现象.
3.是易磨损.导轨长期使用后,能保持的使用精度.花岗石气浮导轨在使用过程中要磨损,但应使磨损量小,且磨损后能自动补偿或便于调整.
4.足够的刚度.运动件所受的外力,是由花岗石气浮导轨面承受的,故导轨应有足够的接触刚度.为此,常用加大导轨面宽度,以降低导轨面比压;设置辅助导轨,以承受外载.
5.温度变化影响小.应保证花岗石气浮导轨在工作温度变化的条件下,仍能正常工作.
6.结构工艺性好.在保证花岗石气浮导轨其它要求的前提下,应使花岗石气浮导轨结构简单,便于加工、测量、装配和调整,降低成本.